大部分真空泵都装有气镇装置，气镇法又称掺气法，是防止水蒸气在真空泵内凝结从而避免油污染的有效方法。

气镇原理

一个抽排周期中的不同状态

视频展示的是双级旋片泵气镇工作原理。当开气镇运行时，泵的极限压力会下降，泵温会升高。

合理使用气镇十分重要。以下为抽排可凝气体的“黄金法则”:

1.在做工艺以前暖泵(开气镇工作半小时)

2.工艺过程保证气镇开启

3.工艺结束后在开气镇的条件下再运行一段时间

4.在泵的耐压范围内抽排可凝气体