真空泵一旦常见问题，就必须先进行维修，真空泵检修时要注意将真空泵拆离真空系统，下油先拆低真空端，取下后端工程师板后，再取低真空转子及键，接着将网页开发板卸下来，取下真空转子及转片、弹簧等，取下后视镜、排气阀门、排汽管盖，用汽油或者用乙酸乙酯彻底清除全部零件。拆时应注意每一个零件的位置，方向及构成紧松，卸下来的零件应分离出来放置，不允许混在一起，彼此之间磨烂。查验全部零部件，看是不是磨烂或抹光，弄坏了等安全风险，按情况进行检修或拆卸。特别注意上下左右端板发现有非常大水准的擦伤，表明安裝时转子与中隔板不垂直，应予以调整精确精准定位螺帽，如太较为严重时应予以检修或拆卸。真空泵查验空隙可分别将高转子放入高真空室，低转子放进低真空室，用刀口尺及厚薄规查验空隙，两侧的空隙应基本同样。